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三維探針臺
簡介:

三維探針臺,由壓電馬達驅動,X-Y-Z三軸的行程均為12毫米,開環(huán)最小步長為0.3μm,探針可選配。專為科研實驗室中微米尺度/量級的力學、光學、電學、磁學、生物化學等性能測試打造的微米精度探針臺,并可增配閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微米精度的定位。

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